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光刻夢(mèng)的燦爛 一一聞光電所研制出世界首臺(tái)分辨率最高紫外超分辨光刻設(shè)備感懷并致敬

成都山地所原黨委書記 關(guān)曉崗    

 

光刻世界如密殿,

四壁茫茫處處玄;

  多重曝光追"納米“,

 獨(dú)辟蹊徑?jīng)_極限。

 微細(xì)天地連風(fēng)云,

 牧馬山中聚杰賢;

 代代傳承光刻夢(mèng),

 臥薪嘗膽國(guó)為天!

                                                                                            2018.11.29